六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统

发明--六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统.jpg六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统

  本发明公开了六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统,包括混合气体回收管路,混合气体回收管路分别连接有循环净化管路、六氟化硫提纯管路和四氟化碳提纯管路。本发明克服了市面上的六氟化硫气体回收净化设备不能分离提纯四氟化碳气体的缺点,不仅实现了六氟化硫和四氟化碳气体的分离和分别提纯,并且集气体的回收、分别分离提纯和回充技术于一体,具有功能齐全、操作简单、经济适用等特点。